MEMS工藝線專用去離子水設(shè)備

MEMS工藝線專用去離子水設(shè)備

一、MEMS工藝線去離子水

　　　雖然大部分人對(duì)于MEMS（Microelectromechanical systems，微機(jī)電系統(tǒng)/微機(jī)械/微系統(tǒng)）還是感到很陌生，但是其實(shí)MEMS在我們生產(chǎn)，甚至生活中早已無(wú)處不在了，智能手機(jī)，健身手環(huán)、打印機(jī)、汽車、無(wú)人機(jī)以及VR/AR頭戴式設(shè)備，部分早期和幾乎所有近期電子產(chǎn)品都應(yīng)用了MEMS器件。

MEMS是一門綜合學(xué)科，學(xué)科交叉現(xiàn)象及其明顯，主要涉及微加工技術(shù)，機(jī)械學(xué)/固體聲波理論，熱流理論，電子學(xué)，生物學(xué)等等。MEMS器件的特征長(zhǎng)度從1毫米到1微米，相比之下頭發(fā)的直徑大約是50微米。

二、MEMS工藝線去離子水

     MEMS傳感器主要優(yōu)點(diǎn)是體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等，是微型傳感器的主力軍，正在逐漸取代傳統(tǒng)機(jī)械傳感器，在各個(gè)領(lǐng)域幾乎都有研究，不論是消費(fèi)電子產(chǎn)品、汽車工業(yè)、甚至航空航天、機(jī)械、化工及醫(yī)藥等各領(lǐng)域。

常見(jiàn)產(chǎn)品有壓力傳感器，加速度計(jì)，陀螺，靜電致動(dòng)光投影顯示器，DNA擴(kuò)增微系統(tǒng)，催化傳感器。

MEMS的快速發(fā)展是基于MEMS之前已經(jīng)相當(dāng)成熟的微電子技術(shù)、集成電路技術(shù)及其加工工藝。 MEMS往往會(huì)采用常見(jiàn)的機(jī)械零件和工具所對(duì)應(yīng)微觀模擬元件，例如它們可能包含通道、孔、懸臂、膜、腔以及其它結(jié)構(gòu)。然而，MEMS器件加工技術(shù)并非機(jī)械式。相反，它們采用類似于集成電路批處理式的微制造技術(shù)。

三、MEMS工藝線去離子水

　　批量制造能顯著降低大規(guī)模生產(chǎn)的成本。若單個(gè)MEMS傳感器芯片面積為5 mm x 5 mm，則一個(gè)8英寸(直徑20厘米)硅片(wafer)可切割出約1000個(gè)MEMS傳感器芯片（圖1），分?jǐn)偟矫總€(gè)芯片的成本則可大幅度降低。

因此MEMS商業(yè)化的工程除了提高產(chǎn)品本身性能、可靠性外，還有很多工作集中于擴(kuò)大加工硅片半徑（切割出更多芯片），減少工藝步驟總數(shù)，以及盡可能地縮傳感器大小。

MEMS工藝線去離子水

仟凈公司，MEMS制造工藝用去離子水設(shè)備資料如下：

第三項(xiàng)，380V的可訂制220V，可根據(jù)用戶電源情況選型。

MEMS工藝線去離子水設(shè)備功能

直接將自來(lái)水或地下水制備出符合標(biāo)準(zhǔn)的MEMS制造工藝用去離子水；

缺水保護(hù)；

水滿停機(jī)；

前置過(guò)濾器自清洗；

水質(zhì)在線監(jiān)測(cè)功能；

開(kāi)停機(jī)時(shí)系統(tǒng)自動(dòng)清洗延長(zhǎng)機(jī)器使用壽命；

MEMS工藝用DI水設(shè)備特點(diǎn)：

安裝簡(jiǎn)單，使用方便，一鍵操作；

水質(zhì)不合格報(bào)警功能；

一體化設(shè)計(jì)，占地面積省。

EDI電去離子工藝，使用耗材成本低。

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